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光譜儀用CCD介紹(卓立漢光)CCD,是英文ChargeCoupledDevice即電荷耦合器件的縮寫,它是在MOS晶體管電荷存儲器的基礎上發展起來的,突出的特點是以電荷作為信號,而不是以電流或電壓作為信號的。在P型或N型硅單晶的襯底上生長一層厚度約為120~150nm的SiO2層,然后按一定次序沉積m行n列個金屬電或多晶硅電作為柵,柵間隙約2.5μm,于是每個電與其下方的SiO2和半導體間構成了一個MOS結構,這種結構再加上輸入、輸出結構就構成了m×n位CCD(m>1,n≥...
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