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气浮主动隔振平台ZVI-FT系列
特点：
空气弹簧支撑
6自由度主动隔振
主动隔振带宽低至0.8Hz起
台面振动低至VC-G
标品负载支持700-7500KG
水平向电机峰值推力高达20N
总体规格（长、宽、高）多种规格可选
核心控制系统全部自研
核心部件国产化
气浮主动隔振平台ZVI-FT系列技术指标
主动隔振带宽：0.8-150Hz
台面稳定性：≤±8um
传递率：≤-10dB@2Hz，≤-25dB@5Hz，≤-35dB@10Hz，≤-40dB@20Hz
水平向电机峰值推力高达1280N
系统支持最大功率1500W
台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）
台面厚度：100/200/300mm
孔径：可定制孔径
孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
标品单腿最大承载能力：1800Kg
命名规则
选型表：（M、K、O参考具体台面信息）
尺寸图：
