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室温 ·压电运动?案 —“Carrier. 系列“ ??程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
?范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特?
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最?负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决?案；
• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)选件升级
可选版本 ? | 正常版本 |
.NM 绝对?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本； | |
1 底?尺?*?度 | 180 mm × 150 mm × 20 mm |
2 主体材料 | 铝合? |
3 中空透孔 | 80 mm × 60 mm |
4 运动?程 | 200 um × 200 um |
5 闭环分辨率 | 优于1nm |
6 推荐最?负载 | 500 g |
7 闭环传感器 | 电容式 |
8 电容精度 | 0.3 nm |
9 压电电容(X, Y) | 6.5 uF |
15 到 40 摄?度 | |
10 推荐使?温度 | |
11 质量 | 1 kg |
12 安装 | 螺纹孔?动兼容 Carrier.L7550.XY |
