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线性位移台Linear55-x-Pro主要特征
• 紧凑设计, 尺? : 55*55*21.2 mm
• 超?真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ?磁材料(纯 Ti & BeCu)，最?兼容 18 Tesla 磁场
• 超?负载 & 超?推? : 500 g & 5 N
• ??程 : 25 mm
• 闭环控制，内置位置传感器， 最?位置分辨率 0.1 um
?维尺?
可选版本 ? | .HV (默认) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV | |
.HV ?真空版本，默认产品; .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机 .UHV 超?真空版本, 最?兼容 2E-11 mbar | |||||
1 三维尺? | 55.× 55 mm × 10.5 mm | ||||
2 质量 | 200 g | ||||
适?环境范围 | |||||
3 基础 | 温度范围: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁场: 18 Tesla | ||||
4 可选1 - 30 mK | ? | ? | |||
5 可选2 - 2e-11 mbar | ? | ? | |||
材质 | |||||
6 主体 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu | |
7 线缆 | 磷?铜双绞线，20cm | ||||
8 针脚材质 | 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu | Peek, BeCu | |||
9 针脚数量 | 驱动 -2 / 7 (adv) pins，传感 - 3 pins | ||||
运动参数 | |||||
10 ?程 | 20 mm | ||||
11 最?运动速度 @300 K | ~ 2 mm/s | ||||
12 驱动电压 | Max. 200 V | ||||
13 最?负载 | 500 g | ||||
14 最?推? | 5 N | ||||
传感器（闭环） | |||||
15 位置传感器 | 电阻传感 | ||||
16 传感器?程 | 25 mm | ||||
17 传感器分辨率 | ~ 150 nm | ||||
18 重复定位精度 | 1 - 2 um | ||||
