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SPM300系列半导体参数测试仪设备概览
基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。
① 光路接口盒：
内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；
② 光路转向控制：
光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项
③ 明视场相机：
明视场相机代替目镜
④ 显微镜：
正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级
⑤ 电动位移台：
75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度
⑥ 光纤共聚焦耦合：
光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率
⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：
标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量
⑧ 光谱CCD：
背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%
⑨ 320mm 光谱仪：
F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比
SPM300系列半导体参数测试仪主要应用
选型表
型号 | 描述 |
SPM300-mini | 基础款半导体参数分析仪，只含一路532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台 |
SPM300-SMS532 | 多功能型半导体参数分析仪，含532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台， 可升级耦合最多4 路激光器 |
SPM300-OM532 | 开放式半导体参数测试仪，含532nm 激光器，定制开放式显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台， 可升级耦合最多4 路激光器 |
系统参数
项目 | 详细技术规格 |
光源 | 标配532nm，100mW 激光器，其他激光可选，最多耦合4 路激光，可电动切换，功率可调节 |
光谱仪 | 320mm 焦距影像校正光谱仪，光谱范围90-9000cm-1, |
光谱分辨率 | 2cm-1 |
空间分辨率 | <1μm |
样品扫描范围 | 标配75mm*50mm，最大300mm*300mm |
显微镜 | 正置显微镜，明场或者暗场观察，带10X,50X,100X 三颗物镜；开放式显微镜可选 |
载流子浓度分析 | 测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3，重复性误差<5% |
应力测试 | 可直观给出应力属性（拉力/ 张力），针对特种样品，可直接计算应力大小，应力均匀性分析 （需额外配置电动位移台）, 应力解析精度0.002cm-1 |
晶化率测试 | 可自动分峰，自动拟合，自动计算出晶化率，并且自动计算晶粒大小和应力大小 |
测试案例举例
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